无氧烤箱
能够在氧气浓度低至100ppm的气氛中,在250℃的温度下进行热处理。这使得该系列非常适合晶圆塑封干燥,银胶固化,晶圆光刻的软烤和硬烤等,以及各类抗氧化热处理。无氧烤箱采用专有的腔室结构和密封技术,具有出色的气密性和温度均匀性,还确保了更高的稳定性和重现性。同时采用由冷却水循环的外部冷却机构,可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却,从而缩短处理时间。适用于固化半导体晶圆干燥,IC封装(铜基板,银胶,硅胶,环氧树脂),玻璃基板烘烤等。
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产品详情
设备简介
高性能无氧烤箱能够在氧气浓度低至100ppm的气氛中,在250℃的温度下进行热处理。这使得该系列非常适合晶圆塑封干燥,银胶固化,晶圆光刻的软烤和硬烤等,以及各类抗氧化热处理。无氧烤箱采用专有的腔室结构和密封技术,具有出色的气密性和温度均匀性,还确保了更高的稳定性和重现性。同时采用由冷却水循环的外部冷却机构,可以在不影响炉内气氛的情况下进行快速冷却,从而缩短处理时间。适用于固化半导体晶圆干燥,IC封装(铜基板,银胶,硅胶,环氧树脂),玻璃基板烘烤等。
产品特点
1、升温速率可控,设定工艺曲线,一键运行;辅助降温缩短降温时间,提高生产效率;可达到低氧环境,固化效果更好。
2、箱内采用单向水平运风,两侧风道内强压送风,风道两侧采用高密度冲孔风板,精确控制导流板角度,确保箱内温度均匀性。
3、高精度温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃,可程式触摸屏控制器,并附设有超温自动停电及报警电路,控制可靠,使用安全。
4、减压阀+双流量计节氮系统,无氧、低氧环境下节省氮气消耗量。
5、采用大功率耐高温长轴马达,大口径不锈钢涡轮扇叶,可在高温环境下长期稳定工作。
6、烘箱内部为不锈钢结构,箱内持续充氮,使烘箱工作室内处于低氧、洁净状态。
7、应用功能强大,老化、退火、测试、固化、干燥、溶剂、涂料和油漆固化、压力缓解等。
选配组件
1、程序控温:可配置程序型温度控制器,实现多组程序控温。
2、测温功能:多点测温查看及记录功能。
3、风门调节:可加装风量调节装置,亦可实现风门开关程序控制。
4、温度记录仪:可配置多通道温度记录仪,打印机或RS485接口,用于连接打印机或PC设备,监控记录温度变化状况。
5、快速降温系统:实现快速升降温的功能。
规格参数
型号 |
GZ-OXY-2SH |
工作稳定温度范围 |
常温~250℃ |
使用电压 |
三相五线380V,50Hz |
控温精度 |
±0.1℃ |
加热功率 |
4.5KW*2 |
温度均匀性 |
±2.5%℃ |
风机功率 |
370W*2 |
温度稳定度 |
±0.5℃ |
极限含氧量 |
<100PPM |
降温方式 |
水冷降温 |
尺寸 |
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工作尺寸(H*W*D) |
(600*2)*720*600 mm |
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外观尺寸(H*W*D) | 1805*1340*865mm |
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箱体 |
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箱体外壁材料 |
SS41#冷轧钢板 |
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箱体内胆材料 |
304#不锈钢板 |
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保温材料 |
100K硅酸铝棉,材料不可燃,隔热性强; |
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容积 |
260L*2 |
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外箱涂装材料 |
外表面整体喷粉,烤漆处理,颜色为计算机白,表面不脱粉,不掉漆; |
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移动脚轮 |
箱体底部安装4个带刹车万向轮,方便烤箱移动和固定; |
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工作室 |
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工作室数量 |
2 每个工作室可分2层,每个工作室可单独设置调节温度。 |
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内部配置 |
配置4个不锈钢钢支层架,层架上包裹不锈钢网孔板,层架间距可调节。 |
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加热速率 |
空载情况下从常温升温至175℃≤30分钟,恒温时间可控。 |
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降温速率 |
175℃降温至80℃≤40分钟 |
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选配 |
含氧检测仪,真空泵,HEPA高效过滤 |
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